S00600 - SEMI S6 - 半導体製造装置の排気換気に関する環境，健康，安全のためのガイドライン StdPbc-0312

S00600 - SEMI S6 - 半導体製造装置の排気換気に関する環境，健康，安全のためのガイドライン StdPbc-0312NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI SME 8 Referenced SEMI Standards (purchase separately) SEMI F5 Guide for Gaseous Effluent Handling SEMI S2 Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI S14 Safety Guidelines for Fire Risk

optical housings) by means of an ARS

SEMI 3D12-1020 (Reapproved 0426)

SEMI E45 — Test Method for the Determination of Inorganic Contamination from Minienvironments

半導体製造工場では，ストッカ格納および工程間搬送に高い基本性能が必要である。この基本性能に加えて，300 mmウェーハキャリアのサイズが大きくなったことおよびその重量が増大したことで必要となった人間工学的および安全要求事項を考慮すると，工程内搬送が必要となる。製造装置へ，また製造装置からの材料搬送の完全自動化を経済的に実現するため，これらストッカ，工程間搬送および工程内搬送システムは，お互いに，そしてまた，その工場の"製造管理システム（MES）"と完全に統合する必要がある。

SEMI E80-0299 (Reapproved 0710)

3  A prerequisite for specifying tighter tolerances on edge profiles is an agreement about the names of the relevant characteristics used for describing edge profiles and a method for extracting these characteristics from a measured edge profile

本文書は，半導体製造装置サプライヤが，装置排気換気システムを一般的な一連の性能基準に基づいて設計するのを支援するとともに，ユーザやサプライヤが装置システムに対する排気換気要件を理解する手助けとなることを意図している。設計仕様を確立することは意図していない。

000 cm−2

The purpose of this Specification is to promote commonality among implementations by defining common representations and conventions of equipment metadata based on SEMI E125 Specification for Equipment Self-Description

The inductance in this Standard is limited to that of internal traces only and does not contain the portions contributed by the exposed areas such as pins and wires

SEMI G19-0997 (technical revision)

Altogether